| Найдено документов - 1 | Источник: Васильев, В. А. (доктор технических наук; профессор). Магнетронное распыление из двух источников в процессе образования гетерогенных структур нано- и микроэлектромеханических систем / В. А. Васил... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
Автоматизация. Современные технологии : научно-технический журнал. Том 69, № 1. – Москва : Инновационное машиностроение, 2015.