| Найдено документов - 1 | Источник: Жданков, В. Н. Весовая система управления ростом оксидных и полупроводниковых кристаллов методом Чохральского в закрытом тепловом узле / В. Н. Жданков, П. В. Касимкин, В. А. Московских. – Текст :... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
Автоматизация. Современные технологии : научно-технический журнал. Том 70, № 5. – Москва : Инновационное машиностроение, 2016.