| Найдено документов - 1 | Источник: Парфенов, Н. М. (кандидат технических наук). Исследование влияния режимов травления на морфологию поверхности кремния / Н. М. Парфенов, С. П. Тимошенков, А. С. Тимошенков. – Текст : непосредствен... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
Автоматизация. Современные технологии : научно-технический журнал. Том 70, № 8. – Москва : Инновационное машиностроение, 2016.